JEOL Ltd. (TOKYO:6951) (Präsident und COO Izumi Oi) gab bekannt, dass das Unternehmen die Semi-in-lens-Versionen (i)/(is) entwickelt hat, die für die Beobachtung von Halbleitergeräten des Schottky Field Emission Elektronenmikroskops JSM-IT800 (Einführung im Mai 2020) optimal sind und seit August 2021 verkauft werden.

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JSM-IT800 (is) (Photo: Business Wire)

Hintergrund der Entwicklung

Rasterelektronenmikroskope (Scanning Electron Microscopes, SEMs) werden in einem breiten Spektrum von Bereichen eingesetzt, wie zum Beispiel im Bereich der Nanotechnologie, Metalle, Halbleiter, Keramiken, Medizin und Biologie. Da sich SEM-Anwendungen nicht nur in der Forschung und Entwicklung, sondern auch in der Qualitätskontrolle und Produktprüfung in den Produktionsstätten immer weiter ausbreiten, benötigen SEM-Benutzer eine schnelle Datenerfassung in hoher Qualität sowie eine einfache Bestätigung von Informationen zur Zusammensetzung bei nahtlosem analytischem Betrieb.

Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, umfasst die Plattform des JSM-IT800 unsere In-lens Schottky Plus FE-Elektronenkanone für eine hochauflösende Bildgebung, ein innovatives elektronenoptisches Steuerungssystem „Neo Engine“ sowie ein nahtloses GUI-System „SEM Center“ für die schnelle Elementaranalyse mit einem vollständig integrierten energiedispersiven Röntgenspektrometers (energy dispersive X-ray spectrometer, EDS) von JEOL. Zudem kann bei dem JSM-IT800 die Objektivlinse des SEM ausgetauscht werden. Diese modulare Lösung ermöglicht verschiedene Versionen, um unterschiedlichen Nutzeranforderungen gerecht zu werden.

Das JSM-IT800 ist in fünf Versionen mit verschiedenen Objektivlinsen erhältlich: eine Hybrid-Linse (HL)-Version, die ein FE-SEM für allgemeine Zwecke darstellt, eine Super-Hybrid-Linse-Version (SHL/SHLs, zwei Versionen mit verschiedenen Funktionen), die eine Beobachtung und Analyse mit höherer Auflösung ermöglicht, und die neu entwickelte Semi-in-lens-Version (i/is, zwei Versionen mit verschiedenen Funktionen), die für die Beobachtung von Halbleitergeräten geeignet ist.

Das JSM-IT800 kann außerdem mit einem neuen Szintillator-Rückstreuelektronen-Detektor (Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED) ausgestattet werden. Der SBED ermöglicht eine problemlose Beobachtung von Live-Bildern dank hoher Ansprechempfindlichkeit und liefert scharfe Materialkontrastbilder selbst bei niedriger Beschleunigungsspannung.

Eigenschaften

1. In-lens Schottky Plus FE-Elektronenkanone

Eine verbesserte Integration der Elektronenkanone und der Kondensorlinse mit niedrigem Abbildungsfehler sorgt für eine höhere Helligkeit. Bei niedriger Beschleunigungsspannung (100 nA bei 5 kV) steht ein hoher Prüfstrom zur Verfügung. Das einzigartige In-lens Schottky-Plus-System ermöglicht verschiedene Anwendungen von der hochauflösenden Bildgebung bis hin zur schnellen Elementarabbildung, Elektronenrückstreuungsbeugungsanalyse (electron backscatter diffraction, EBSD).

2. Neo Engine (Neuer elektronenoptischer Motor)

Neo Engine ist ein hochmodernes elektronenoptisches System, in dem sich langjährige JEOL-Kerntechnologien vereinen. Anwender können stabile Beobachtungen auch bei wechselnden Beobachtungs- oder Analysebedingungen durchführen. Die gute Bedienbarkeit für automatische Funktionen wurde wesentlich ausgebaut.

3. SEM Center / EDS-Integration

Ein GUI „SEM Center“ lässt sich vollständig mit SEM-Bildgebung und EDS-Analyse für einen nahtlosen und intuitiven Betrieb integrieren. Das JSM-IT800 kann durch optionale Software-Add-ons erweitert werden, wie z. B. durch SMILENAVI zur Unterstützung und Einweisung unerfahrener Anwender und den LIVE-AI-Filter (Live Image Visual Enhancer – AI) für eine höhere Qualität der Live-Bilder.

4. Semi-in-lens-Versionen (i/is)

Eine Semi-in-lens-Version erzielt eine extrem hohe Auflösung durch das Konvergieren von Elektronenstrahlen mit dem starken Magnetfeld, das sich unter der Objektlinse bildet. Darüber hinaus fängt das System die von einer Probe emittierten sekundären energiearmen Elektronen auf effiziente Weise ein und erkennt Elektronen mithilfe des Upper-in-lens-Detektors (UID). Infolgedessen ermöglicht diese Version eine hochauflösende Beobachtung und Analyse von geneigten Proben und Querschnittsproben, die für die Fehleranalyse von Halbleitergeräten gebraucht werden. Des Weiteren ist sie für die Beobachtung des Spannungskontrasts sehr nützlich.

5. Upper Elektronendetektor (UED)

Ein Upper Elektronendetektor kann oberhalb der Objektivlinse angebracht werden. Der Vorteil des Systems ist die Möglichkeit der Erfassung von Rückstreuelektronenbildern und der Erfassung sekundärer Elektronenbilder in Kombination mit Probenvorspannung. Die von einer Probe emittierten Elektronen werden von einem UID-Filer innerhalb der Objektivlinse ausgewählt. UED und UIT erlauben die Erfassung mehrer Informationen im Rahmen einer einzigen Aufnahme.

6. Neuer Detektor für rückgestreute Elektronen

Der Szintillator-Rückstreuelektronen-Detektor (Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED, optional) hat eine hohe Ansprechempfindlichkeit und eignet sich zur Aufnahme von Materialkontrastbildern bei niedriger Beschleunigungsspannung.

Verkaufsziel

1) JSM-IT800i-Version: 5 Einheiten/Jahr
2) JSM-IT800is-Version: 40 Einheiten/Jahr

URL: https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JSM-IT800.html

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokio, 196-8558, Japan
Izumi Oi, Präsident und COO
(Börsenkürzel: 6951, Tokyo Stock Exchange First Section)
www.jeol.com

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